精密零件供应商生产的电磁阀阀芯, 经过镭射焊接后, 怀疑焊缝存在微小的泄漏, 单个阀芯最终漏率需要低于 5-10 mbar l/s，经过伯东推荐 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对其生产的电磁阀阀芯检漏.
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号
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ASM340
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ASM340 D
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ASM340 I
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对氦气的最小检检漏率
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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3
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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2.5
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2.5
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进气口最大压力 hPa
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25
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25
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5
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前级泵抽速 m3/h
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油泵 15
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隔膜泵 3.4
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不含前级泵
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重量 kg
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56
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45
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32
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氦质谱检漏仪 ASM340 优点:
1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s
3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：
真空模式：5E-13 Pa m3/s
吸枪模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率
4. 移动式操作面板（有线、无线）
5. 集成SD卡, 方便资料处理
6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性
7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等
8. 检测时间短
待检漏产品及检漏示意图:
氦质谱检漏仪电磁阀检漏
由于半导体工业上用的气体如矽烷 SiH4, 氨气 NH3 等等都是有毒或有腐蚀性的气体, 所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格.
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