蓝宝石红外光窗
超声波清洗机VGT-1207FT
一、蓝宝石红外光窗在制作程序中的清洗:
粗抛光后:去除抛光粉、研磨残留等顽固污染物,威固特超声波能高效清理亚表面损伤层附着物。
镀膜前清洗:确保基片绝对洁净(无指纹、油脂、颗粒)。超声波+化学清洗(如IPA+去离子水)是行业常见方案。
键合前处理:若宝石红外光窗需要与其他光学元件键合。超声波可提升表面合化性。
频率选择:威固特超声波厂家建议高频(80-120 kHz)配合低功率,减少空化对表面的潜在冲击。
清洗剂兼容性:避免酸性/碱性溶液腐蚀蓝宝石红外光窗(pH中性为宜)。
干燥工艺:清洗后立即用无尘烘箱或氮气干燥,防止水渍残留。(威固特VGT-1207FT超声波清洗机带烘干槽)。
二、威固特VGT-1207FT超声波清洗机在蓝宝石红外光窗镀膜前/组装前清洗应用中的技术参数、结构设计、核心优势:
1、技术参数:
参数类别 具体规格 适配蓝宝石红外光窗清洗的意义
超声波频率 可调范围 40-120 kHz(默认推荐80 kHz)。 高频(≥80 kHz)空化作用更温和,减少表面微损伤。
功率密度 功率可调,最大功率 ≤50 W/L(低中功率模式)。 避免功率过高导致蓝宝石红外光窗边缘崩裂或膜前基片应力变化。
槽体容积 标准型 7-15 L(具体尺寸需确认)。 适合中小批量蓝宝石窗口(φ20-100 mm)的连续清洗。
加热控制 恒温范围 室温-80℃(精度±2℃)。 提升清洗剂活性(如IPA+水混合液在40-50℃效果更佳)。
过滤系统 内置 5μm精密过滤器(可选1μm或兆声漂洗模块)。 防止抛光粉等颗粒二次附着,满足光学表面颗粒度要求。
干燥方式 支持 热风干燥/N?吹扫(需外接气源)。 避免水渍残留,符合镀膜前洁净度标准(ISO 10110)。
控制系统 PLC触摸屏编程,可存储 10组工艺配方。 标准化不同批次蓝宝石红外光窗的清洗流程(时间/温度/频率)。
2、结构设计:
槽体材质:
内槽:316L不锈钢+特氟龙涂层(耐腐蚀、兼容丙酮、乙醇等有机溶剂)。
外壳:316不锈钢密封设计。防酸碱蒸汽腐蚀。
超声波振子布局:
底部+侧壁多组振子阵列,确保声场均匀性(蓝宝石红外光窗放置区域声强偏差≤15%)。
清洗篮架:
定制化PP/PTFE材质支架(避免金属接触划伤蓝宝石红外光窗边缘)。
安全防护:
液位传感器+过热保护,防止干烧或溶剂挥发风险。
3、核心优势:
光学级洁净保障:
高频超声波+精密过滤,可达到≤0.1μm颗粒残留。
支持兆声漂洗选配(0.8-1MHZ),进一步降低亚微米颗粒附着。
工艺兼容性广:
可适配多种光学清洗剂:IPA、去离子水、半水基光学清洗液(如ALCONOX)。
镀膜前/键合前/胶合前清洗均适用。
自动化集成:
预留RS485通信接口,可接入生产线自动化控制(如机械臂上下料)。
低损伤设计:
高频模式下的空化能量集中作用于污染物而非基材,蓝宝石红外光窗表面粗糙度变化 ≤0.5 nm(Sa)(实测数据)。