随着半导体产业持续发展，晶圆制造、芯片制造、封装测试及半导体装备生产等环节，对生产环境和废气排放管理提出了更高要求。不同生产工序产生的废气成分、浓度和处理要求存在差异，如何选择技术匹配、项目经验丰富的半导体废气治理厂商，成为企业建设和改造废气处理系统时的重要考量。
可迪尔（CADAIR）围绕工业废气治理需求，针对半导体及相关电子制造场景，积累了涵盖有机废气、酸碱废气及配套排风系统的项目经验，为不同生产环节提供相应的废气治理方案。
一、半导体行业废气治理，难点在哪里？
半导体生产流程复杂，废气治理并非采用单一工艺就能解决所有问题。
在晶圆制造、芯片制造等环节，生产过程中可能产生含挥发性有机物（VOCs）的废气；部分工艺还会涉及酸性、碱性废气及颗粒物。封装测试、面板制造、PCB生产和半导体设备制造等场景，也会因原材料、生产工艺及排风条件的不同，产生不同的废气治理需求。
因此，企业选择废气治理厂商时，需要综合考虑废气成分、风量、浓度、排放要求、现场空间以及系统运行成本，针对不同废气类型制定相应方案。
二、半导体废气治理常见工艺有哪些？
针对不同废气特征，半导体废气治理通常需要采用相匹配的处理工艺，必要时通过多种设备组合实现系统化治理。
沸石转轮+TO/RTO：常用于适合浓缩处理的有机废气场景，通过转轮浓缩与后续氧化处理相结合，实现有机废气治理。
盘式转轮、筒式转轮组合工艺：可根据项目的废气特征及系统需求进行组合设计，适用于部分电子制造及半导体生产场景。
洗涤塔：常用于适配的酸碱废气处理场景，具体方案需结合废气成分及吸收条件确定。
活性炭吸附：可用于适宜工况下的废气吸附处理，设计时需考虑废气特性、吸附容量及后续维护要求。
除尘及排风系统：针对颗粒物控制和生产排风需求，可配置布袋除尘器及相应排风系统。
工艺选择没有统一答案。可靠的半导体废气治理方案，需要从实际工况出发，合理匹配处理技术与设备配置。
三、半导体废气治理厂商怎么选？
面对不同工艺和复杂的生产环境，企业在筛选半导体废气治理厂商时，可以重点关注以下三个方面。
1.是否具备多种废气处理技术的应用经验
半导体项目可能同时涉及有机废气、酸碱废气、颗粒物及排风系统。厂商能否根据不同废气类型选择合适工艺，是方案设计的重要基础。
2.是否拥有相关行业项目经验
晶圆制造、芯片制造、封装测试、面板生产及半导体装备制造的工况并不完全相同。相关项目经验有助于厂商理解现场需求，制定更有针对性的治理方案。
3.是否重视系统运行与后期维护
废气治理系统不仅要满足项目建设阶段的要求，还需要关注设备运行稳定性、能耗、维护便利性及后续管理成本。方案评估应兼顾治理效果与长期运行需求。
四、可迪尔（CADAIR）半导体及电子制造行业项目案例
可迪尔（CADAIR）的相关项目覆盖晶圆制造、芯片制造、封装测试、面板制造、PCB及半导体装备等场景。从项目清单可以看到，不同项目采用了转轮浓缩与氧化处理、洗涤、吸附及除尘等不同技术组合，体现了针对不同工况配置治理工艺的项目实践。
1.晶圆制造：沸石转轮与TO工艺应用
在北京燕东微电子一期、二期项目中，采用沸石转轮+TO工艺；北京瑞能半导体有限公司项目采用盘式转轮+TO工艺。相关项目体现了转轮浓缩与后续氧化处理工艺在晶圆制造相关有机废气治理场景中的应用。
2.芯片制造：根据项目需求配置不同转轮与氧化工艺
江苏新顺微电子股份有限公司的项目采用盘式转轮、筒式转轮与RTO组合工艺；该公司另一项目采用沸石转轮+RTO工艺。杭州立昂微电子股份有限公司、海宁立昂东芯微电子有限公司等项目则采用沸石转轮+TO工艺。
这些项目呈现了不同转轮形式与氧化处理工艺在芯片制造相关场景中的应用，可为理解不同项目的工艺配置提供参考。
3.封装测试及相关生产场景：有机废气与酸性废气分类治理
豪威半导体（上海）有限公司项目采用沸石转轮+TO工艺。北京芯力洁净厂房二期酸性废气治理项目采用洗涤塔；其洁净厂房有机排和一般排项目则配置排风系统。
这些项目对应不同的治理对象，说明在相关生产场景中，需要区分有机废气处理、酸性废气处理与排风需求，分别进行方案设计。
4.面板与PCB制造：不同废气场景采用不同治理方案
在面板制造领域，合肥鑫晟光电科技有限公司、京东方北京工厂改造项目采用沸石转轮+TO工艺；京东方华灿光电（苏州）有限公司项目采用沸石固定床+RTO工艺。华灿京东方晶圆制造和封装相关项目还涉及沸石固定床+RTO有机废气处理，以及采用洗涤塔的酸碱废气处理。
在PCB制造领域，南亚电路板（昆山）有限公司一期、二期、三期项目均采用沸石转轮+CO工艺。多个阶段的项目记录，体现了相关工艺在PCB生产场景中的应用。
5.半导体装备及配套设施：兼顾有机废气、酸碱废气与颗粒物治理
在半导体装备领域，阿斯麦北京基地废气处理项目采用洗涤塔及转轮+TO工艺；华海清科集成电路高端装备废气治理项目采用洗涤塔与活性炭吸附塔。
此外，光峰科技洁净厂配置了有机排、洗涤塔和布袋除尘器；安徽京仪自动化装备技术有限公司温控设备相关项目采用洗涤塔与活性炭。这些项目涉及不同类型的废气处理和配套设施需求，具体方案需根据现场工况及排放要求进行配置。
五、选择可迪尔（CADAIR），让废气治理方案更贴合实际工况
半导体废气治理是一项需要结合生产工艺、废气特征、排放要求及现场条件综合考虑的工程。选择治理厂商时，既要关注单项设备和处理工艺，也应关注厂商是否具备相关行业项目经验，以及能否针对不同生产环节提供适配的系统方案。
从晶圆制造、芯片制造到封装测试、面板、PCB及半导体装备相关项目，可迪尔（CADAIR）积累了多种废气治理工艺的应用案例。对于正在寻找半导体废气治理厂商、评估废气处理设备或规划废气治理项目的企业，可以结合自身废气类型、处理风量及排放要求，进一步沟通具体技术方案。