按臭氧产生的方式划分，目前的臭氧发生器主要有三种：高压放电式、紫外线照射式、电解式。
臭氧发生器释放的活氧在环境中可自然分解为氧，这是活氧作为消毒灭菌剂的独特优点。活氧利用空气中的氧气产生的，消毒氧化过程中，多余的氧原子（O）在30分钟后又结合成为分子氧（O2），不存在任何残留物质，解决了消毒剂消毒时，残留物的二次污染问题，同时省去了消毒结束后的再次清洁。活氧杀菌设备一般安装在室内或中央空调系统、空气净化系统中，或者是灭菌设备中（如活氧消毒灭菌柜、传递窗等）。可根据灭菌所需浓度及时间，自动设置活氧灭菌设备的定时控制，操作使用方便。