无尘室：
无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，
无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
如表所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
无尘车间内墙间和顶棚的装修应符合下列要求：
①洁净车间墙板和顶棚的装修表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于除尘等要求，并减少凹凸面。
②踢脚不应突出墙面。
③洁净车间内不宜采用砌筑墙抹灰墙面，当必须采用时宜干燥作业，抹灰采用高级抹灰标准。墙面抹灰后应刷涂料面层，并应选用难燃、不开裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。无尘车间技术夹层的墙面和顶棚表面应平整、光滑，位于地下的技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。
十万级无尘车间施工方案：
1) 彩钢板天花部分：洁净区域用双面彩钢板, 颜色用灰白，厚50mm夹芯;其它区域也可以做轻钢龙骨石膏板或铝扣板天花，600*600mm.
2) 彩钢板隔断部分：用双面彩钢板围护及间隔、包柱，围护面到天花顶;洁净走廊及车间间隔处做铝材玻璃窗,窗台高900mm, 玻璃厚5mm, 宽度2000，高1000mm；双开门高度(2100mm)宽度，(1600mm)，铝材窗料用净化专用材料，45度斜边，与地面及天花交角做元弧及阴角接口,符合规范及卫生消毒要求、整体光亮、易清洁、不易染尘。
3) 单开门：800X2100mm，上做玻璃观察窗，装球型通道锁。
4) 地面：原水泥地面需经平整处理后做2mm厚环氧树脂EPOXY面层，耐磨耐压; 其他区域可做厚0.5mm环氧树脂滚涂层;颜色为绿色。无尘清洁明亮，易清洗，卫生，不积尘菌，或铺设PVC防静电地板。
5) 柱子：柱子用彩钢板隔断材料用外圆柱铝材全包边。
6） 照明、配电：用不锈钢边吸顶式无尘净化灯盘40WX2，工作区>300Lux，过道区>100Lux;无尘间设紫外线杀菌灯，与照明灯具分路设计。用铁线管暗敷。符合防火及用电规范。
7) 人员进入前的人身净化, 设换鞋、一、二次更衣、洗手、烘干、手消毒及风淋门等区域。
8）由送排风组成的空气循环系统保证了室内空气的清新和洁净。由水冷或风冷机组加增压风柜（含初中效过滤），经镀锌风管，末端加高效过滤送风口，保证空气的洁净度。
净化参数
换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa平均风速：10级、100级0.3－0.5m/s；温度 冬季>16℃；夏季 <26℃；波动±2℃。
温度45－65%；GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10%－30%；照度300LX
净化原理
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的。