等离子法（电离法）是以高反应活性的等离子体与有机分子反应形成无臭分子或电离分解为无害气体的办法。占地面积小电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；运行费用低；反应快、停止十分迅速，随用随开。等离子法只消耗电能就可除臭去毒，维护保养较简便；但设备设计和质量要求高，投资中等，使用时需避免接触明火。
等离子净化器机理
1、在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能量等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态，当废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，最后生成无害产物。
2、物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集。