低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。等离子废气净化设备的特点：
1、工艺简洁：等离子废气净化设备操作简单，方便，无需专人看管，遇故障自动停机报警。
2、节能：低温等离子体处理烟气能耗低，运行费用低廉，2～5瓦时/米3。
3、适应范围广：在-60℃~+300℃的环境内均可正常运转，特别是在潮湿，甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。
4、设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，石英、钼等材料组成，抗氧化性强，在酸性气体中耐腐蚀。
5、组合性强：低温等离子体处理设备可以窜并联混合应用。
6、500～2000米3/时为一个低温等离子体处理装置单元，一个单元用一个脉冲电源激励。
等离子废气净化设备单元规格：
1． 输入电压：AC380V（或AC220V）（±10%）
2． 功率：2～5KW/1000米3（2～5瓦时/米3）；
3． 主机重量：10KG；变压器重量：35Kg；低温等离子体处理装置重量：10Kg
4． 主机和变压器之间的连线：<5m；
5． 主机尺寸：250(W)×200(H)×360(D)mm3
6． 变压器尺寸：230(W)×280(D) ×290(H)mm3
7． 低温等离子体体积：处理通道内充满低温等离子体
8． 工作环境：
温度： －10℃～+40℃
相对湿度： 20%～93%（不结露）
9． 大气压力： 86Kpa～106Kpa
10．气体流速：1～30米/秒
11．处理量：20～20000米3/小时
12．功耗：2～5瓦时/米3
13．净化气体升温：小于5°C
14．压损：小于300Pa
15．效率：含硫恶臭气体（H2S，CS2）85%，VOC（苯，甲苯，二甲苯）95%