去离子水（deionized water）是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“高纯水”。
去离子水分类
通常去离子水可以分为4类：
A类:去离子水只要求将水中离子去除一大部分，使水得以净化，种类去离子水电导率通常在200-10μs；
B类:去离子水电导率通常在1-10μs，属于食品级别；
C类:去离子水电导率通常在0.1-0.9μs，属于精细工业级别；
D类:去离子水电导率通常在0.07μs以上，属于电子级别。
去离子水，蒸馏水，纯净水之间的区别
1、去离子水：将水通过阴阳离子交换树脂床，通过交换，去除水中阴、阳离子，所出水为去离子水，一般用于化学实验室用水需要。
标准见实验室用水标准。
2、蒸馏水：通过蒸馏，将水蒸气冷凝所制备的水，称蒸馏水。一般大型制水是通过锅炉产生的蒸气，再冷凝而得。用于制剂、制药等和要求不太高的实验用水。
标准见《中国药典》
3、纯净水：通过沙滤、活性炭吸附除味，再经反渗透膜过滤，去除离子后的水，又称纯净水、太空水（航天技术中水的再生利用技术）。市面上供应的纯净水就是如此制备。标准见食品卫生标准中《纯净水卫生标准》。