1. CCD相机:德国彩色CCD1280*1024像素
2. 镜头:4X镜头,最新线宽0.5mil
3. 光源:光源自动调光功能,也可手动调光
4. 台面尺寸:1200mm*750mm
5. 线宽测量范:最小12.7um--最大1500um
6. 测量寻边方式:自动寻边功能
7. 线宽测量精度:±1μm
8. 测量窗口视野范围:可测量60mil以内的线路
9. 报告生成模式:可根据客户厂内报表格式做定制的对应测量数据汇出等
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