Kanomax 超小型粒子计数器3950
颠覆性的技术革新，致轻、致小，完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中
2.83L/min，同时测试0.1、0.3μm微小粒子
4.3英寸彩色触摸屏显示屏
可使用附带软件在PC上显示测试数据
设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口
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品 名
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尘埃粒子计数器
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型 号
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3950
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粒子测量
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测试方法
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光散射法
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粒径通道
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2粒径（0.1、0.3μm）
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额定流量
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0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
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测量时间
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6秒~99分59秒（1次测量时间）
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间隔时间
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6秒~99分59秒（测量周期）
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采样次数
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1~999次 或 连续测试
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地点设定
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99个地点
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测量方式
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重复、单次、连续、计算、ISO , GB*（共6种模式）
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测量数据显示时间
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1~10秒
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测量数据显示
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累计值∑ 差分值△及柱形图
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最大可测浓度
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10,000,000个/m3
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计数效率
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50±20%（相对于最小可测粒径附近的PSL粒子）
100±10%（相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
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伪 计 数
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<1个/35min
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粒径分辨率
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15%以下（相对0.3μm的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
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气 源
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内置泵
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显示器
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4.3英寸彩色液晶 触摸屏
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通迅功能
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本 体
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USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接）
Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
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数据存储
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媒 体
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内存
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数量、格式
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最大10,000个、CSV格式
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显示语言
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英文、日语
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电 源
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AC100~240V
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使用环境
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本 体
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15~35℃、0~85%RH （无结露）
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外形尺寸
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W150 X H163 X D228 mm
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重 量
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3.4kg
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Kanomax 超小型粒子计数器3950