臭氧又称富氧、三氧、超氧等。臭氧是一种有特殊腥味的蓝色气体，比重比空气大，化学式为O3，比氧分子多了一个活泼的氧原子，易分解，活泼性强。具有极强的氧化性。
臭氧的杀菌原理：空气中含有一定浓度的臭氧（2∽15ppm），对细菌、病毒等?生物内部结构有极强的氧化破坏性，可达到杀灭细菌繁殖体、芽孢、甲乙型肝炎病毒、真菌和原虫胞襄等各种细菌，还可以破坏肉
臭氧的安全性：在1-5ppm浓度下，人短时间逗留（1-2分钟内），几乎没有影响；若长时间（每天8小时）在臭氧环境下，浓度不应超过0.05ppm。
臭氧的应用：
1.食品、制药原料的清洗、杀毒、消毒、杀灭微生物。
2.无菌包装间、无菌实验室、GMP、HACCP生产车间的空气杀菌消毒。
3.冷藏间、冷藏库的卫生消毒、保鲜。
4.更衣室、工作服消毒。
5.对食品、制药行业用水的消毒。