无尘车间标准所使用的粒径的测量单位是微米，1微米等于百万分之一米。
无尘车间的级别是按其空气洁净度划分的，美国联邦标准准209A至D的无尘车间分级最容易理解，但该等级正被最新版本E所取代，后来又被ISO-14644-1所取代，尽管如此，老版本仍被广泛采用，在联邦标准的老版本中（A至D），大于等于0.5um粒子的数量是按每立方英尺空气计数的，并以此计算和划分无尘车间的等级，而最新的联邦209E标准采用了公制，到1999年，颁布了ISO 14644-1，该标准已经被欧洲所有国家采用，并逐淅为世界其他国家所采用。
应当注意的是，无尘车间的ISO 14644-1级别与联邦标准209的级别可以转换，如果ISO标准的每立方米粒子浓度被35.2除，就转换成每立方英尺的粒子计数。
ISO 14644-1规定的占用状态如下：
“空态”：无尘车间所有设施要安装完毕并在工作，但无生产设备，材料或人员在场。
“静态”：无尘车间所有设施在运行，生产设备安装完毕并以供需双方同意的方式运行，但无人员在场。
“动态”：设施、设备以规定的方式运行，有规定数量的人员按事先同意的方式在工作。
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