材质：疏水 PTFE 滤芯 + 316L 电解抛光外壳，耐绝大多数酸碱、腐蚀性工艺气体 精度：0.0015μm，分 Silver（出厂预清洁，新机快速投产）/Bronze 标准款 适用：氮气 N?、CDA 压缩干燥空气、各类惰性 / 轻度腐蚀半导体气体 优势：低压损、大通量、体积小巧；出厂预清洁款可大幅缩短吹扫时间 接口：1/4"、3/8"、1/2" VCR 垫片密封、Swagelok 卡套、对焊 Tube 流量：标准款最高 300slpm，MAX1000 大流量型适配厂区总管路Entegris