滤芯：疏水 PTFE 梯度滤膜，外壳 316L EP 电解抛光不锈钢 过滤精度：0.0015μm，9 个对数颗粒拦截（99.9999999%） 适配燃气：N?、CDA 压缩空气、Ar、He、温和腐蚀性工艺燃气（HCl、SiCl?等） 工况参数
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最高压力：37bar；耐温≤120℃
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流量覆盖：标准款 300slpm，MAX1000 大流量款 1000slpm 主管路使用 接口：1/4"/3/8"/1/2" VCR 垫片密封、卡套、对焊 Tube 优势：低压损、出厂预清洁（Silver 款），吹扫时间大幅缩短，无金属离子析出 局限：不可 400℃高温工况，禁高温氟气、熔融碱金属