某专门生产半导体配件公司采用移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 对高端不锈钢管, 阀门和歧管等配件进行检漏, 以验收管件是否达标. 其产品漏率值需要达到 10-9mar l/s.
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱测漏仪 ASM390 技术参数:
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型号
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ASM390
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检测气体
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4He, 3He, H2
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最小检测漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
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对氦气的抽速
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10 l/s
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前级泵抽速
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35 m3/h
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进气口最大压力
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20 mbar
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无校准的启动时间(20°C)
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2 min
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进气口
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DN 40 ISO-KF
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响应时间
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< 1 s
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Interface, 选配
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RS-232, I/O, Ethernet
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噪音
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≤ 55 dB (A)
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重量
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125 kg
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尺寸(LxWxH)
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1072 x 455 x 1025 mm
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待检漏产品:
半导体配件-不锈钢管检漏方法工作示意图如下：
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 完全符合 Semi S2 标准
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上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
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